溫室大棚使用臭氧殺菌無公害，臭氧在干燥的空氣中不穩定，可很快分解還原為氧氣，因此在植株內及果實中無污染、無殘留，是實現無公害蔬菜生產的一條重要途徑；可以防治溫室大棚內的苗床病蟲，先將苗床封嚴，每10平方米每次施放1分鐘，并密閉熏蒸10分鐘，然后再通風30分鐘。
臭氧可實現一施多用，同時防治多種病蟲，而且防治費用低。與噴施農藥相比，施放臭氧更為方便、高效、安全，可大大減少農藥的使用量，避免農戶朋友施用高毒、高殘留農藥，從而降低用藥成本；可以使用臭氧來進行熏棚消毒。定植前10天可結合高溫悶棚利用臭氧發生器將臭氧集中施放于溫室大棚內，施放時間以不少于2小時為宜，可以起到不錯的效果。
使用臭氧有利于提質增產。采用空氣源高壓電暈產生臭氧的方法，不僅能產生我們所需的臭氧，同時也會產生氮氧化物，氮氧化物可作為植物所需的氮肥使用。有實驗證明，溫室大棚內的番茄使用臭氧后畸形果明顯減少，產量增加20%左右，且果實個大、著色好、口感好；設施蔬菜定植后的病蟲防治。定植緩苗后，每畝棚室持續施放臭氧7-10分鐘，再密閉熏蒸15-20分鐘，然后通風30分鐘。無病蟲的棚室每5-7天施放1次，連續施用5次，每經2-3次施放時間再增加5分鐘，直到每畝每次增至25分鐘。熏蒸時間也同樣每經2-3次增加5-10分鐘。
